事業内容Business

装置事業

構想から完成まで

最適な乾燥装置をご提案

お客様が各種業務で使用する乾燥炉、熱関連設備、真空関連装置の設計、製造、販売を行っています。“目に見えない熱や圧力をコントロール”するために、技術と知識を駆使してお客様のニーズに合わせた装置、設備をトータルでコーディネートいたします。
まずはお客様のご要望、設備仕様などをしっかりとお伺いし、内容に適した乾燥方式のご提案をさせていただきます。標準製品のカスタマイズなども可能です。ご相談、お見積りはお気軽にご連絡ください。

数多くの乾燥炉製作実績

弊社は、液晶テレビやスマートフォンのディスプレイなど、時代に合わせてさまざまな用途に使用する乾燥炉を設計・製作してきました。ガラス基板や各種パネルなど乾燥させる素材や処理量など条件に適した乾燥方式が必要とされ、用途や乾燥方式ごとにノウハウがあります。弊社では長年培った経験と実績を活かして、お客様の使い勝手を考慮した提案を行い、構想設計からアフターメンテナンスまで一貫体制で行っています。小型から大型装置(~G10サイズ)まで幅広く対応しています。

  • 乾燥炉製作実績
  • 乾燥炉製作実績
■弊社が手がける生産装置
  • FPD(フラットパネルディスプレイ)、半導体製造用加熱装置、真空乾燥装置
  • マスクガラスの過熱装置、真空乾燥装置
  • 電気部品の乾燥硬化炉
  • 真空ホットプレート
  • 各種生産装置へ取り付けるヒーター
  • 既設装置の改造

引合い~納品までの流れ

弊社ではお客様と二人三脚の体制にて、装置の設計から納品まで行っています。

  1. お客様お問合せ・案件の引合い
  2. 弊社案件の検討
  3. 弊社必要な場合はお客様のサンプルを試験乾燥
  4. 弊社製作可能であれば概算見積、仕様のご提案
  5. お客様弊社仕様など詳細打合せ
  6. 弊社詳細見積、見積仕様書提出
  7. お客様弊社修正打合せ
  8. 弊社最終見積、確定仕様書提出
  9. お客様御発注
  10. 弊社製作図作成(部品図・組立図)
  11. 弊社製作
  12. 弊社試運転調整
  13. お客様立会い確認
  14. 弊社工場出荷
  15. 弊社納入(お客様ご指定場所)
  16. 弊社据付・現地立上げ(お客様の希望があれば)

製品一覧

■昇降機能付きHP・CP装置

ガラス基板の表面をホットプレート(HP)で昇温させ、クールプレート(CP)で冷却させる装置。G10サイズまで実績があります。

  • プレート表面はプロキシミティ方式によりガラス基板のダメージ軽減
  • 多段式装置で省スペース
  • 炉内温度安定の為に各段にシャッター設置
  • 弊社独自の方式でガラス基板のピンムラ低減実施
  • 昇降機能付きHP・CP装置
  • 昇降機能付きHP・CP装置

■多段式硬化炉

ガラス基板の表面をIRヒーターにて昇温させる装置。
G8サイズまで実績があります。

  • 弊社特許のUNILINKヒーターを使用可能
  • 昇降機構が無い為、各段のピッチを小さくできる。
  • 炉内温度安定の為に各段にシャッター設置
  • 多段式硬化炉
  • 多段式硬化炉

■マスクガラス乾燥炉

洗浄後、コーター塗布後のマスクガラス基板を昇温させる装置。
G10サイズのマスクガラスまで実績があります。

  • マスクガラスの裏面をコンタクトしないで昇温可能
  • マスクガラスの投入、取出し用のトラバーサー製作可能
  • マスクガラスの真空乾燥炉も製作可能
  • マスクガラス乾燥炉
  • マスクガラス乾燥炉

■真空乾燥炉

炉内を減圧する事により沸点を下げてワークを乾燥させる装置。
G5.5サイズまで実績があります。

  • サイドシャッター方式により多段化、省スペース
  • 引出しにてメンテナンス実施
  • 真空乾燥炉
  • 真空乾燥炉

■コンベア炉

作業者がワークをコンベア上に設置して、コンベア搬送を行い、コンベア上部、下部に設置されたヒーターでワークの昇温を行う加熱焼成炉。

  • 低コスト インラインコンベア
  • 弊社開発のUNILINKヒーターを利用して温度安定化
  • 昇温エリア、コンベア速度を調整し要求の昇温時間を実現可能
  • コンベア炉
  • コンベア炉

■R&D 装置

各種実験、開発及び仮生産可能な装置の提案。
お客様の仕様を確認して弊社の検証機等でサンプル製作した上でのご提案ができます。

  • 8INCHウエハー用乾燥装置
  • UVランプ照射装置
  • R&D 装置
  • R&D 装置

■自社開発製品

弊社で設計、開発を実施した製品。環境関連機器およびあらゆる産業における省力化の設計・製造を行っています。

  • UNILINK HEATER(※特許取得)
  • 真空用ホットプレート
  • 自社開発製品
  • 自社開発製品

納入実績

工程 納入国 納入装置
CF工程 台湾 HPプロセス改善改造
蒸着工程 国内 真空用ホットプレート
マスクガラスパターニング 韓国 HP/減圧乾燥多段装置
配向膜工程 中国 冷却炉(水冷式)
アレイ工程 中国 冷却炉(空冷式)
タッチパネルパターンニング 中国 HP/CPシステム
有機EL 国内 HP・IRHP装置
有機EL 国内 真空用ホットプレート
蒸着工程 国内 真空用ホットプレート
MEMS用 国内 フィルム塗布後乾燥システム
貼り合わせ工程 中国 HPユニット
オーバーコート 台湾 HPユニット
配向膜工程 中国 PI仮乾燥炉
マスクガラス 日本 搬送付HP(オーバーホール)
配向膜工程 中国 PI仮乾燥炉
ラバー用 日本 UVコンベア
アニール工程 中国 冷却BF/ブース
塗布工程 日本 HP/CP/搬送システム
配向膜工程 中国 硬化炉
アレイ工程 中国 IR冷却炉
CELL工程 中国 IR冷却炉
配向膜工程 台湾 PI仮乾燥炉(ワイヤー)
マスクガラス 韓国 HP装置・搬送装置
マスクガラス 韓国 HP装置
半導体パッケージ 日本 HP/CPシステム
マスクガラス 中国 HP/CP装置
マスクガラス 日本 HP装置
医療用液晶 日本 HP装置

設備

工場環境

■本社工場クリーンルーム

本社第一工場のクリーンルームでは、エンジニア・スタッフたちが装置の組立・検証を行っています。

  • 本社工場クリーンルーム
  • 本社工場クリーンルーム
  • 本社工場クリーンルーム
<設備>
天井クレーン 2.8t
 
ヘリウムリークディテクタ ASM-142(PFEIFFER)
 
静電容量測定器 SK-035/200(KEYENCE)
 
温度測定用データロガー NR-1000(KEYENCE)
 
サーモカメラ R500P-NNU(AVIO)
 
気流可視化装置 AVC-502A(日本エアーテック)