事業内容Business
装置事業
構想から完成まで
最適な乾燥装置をご提案
お客様が各種業務で使用する乾燥炉、熱関連設備、真空関連装置の設計、製造、販売を行っています。“目に見えない熱や圧力をコントロール”するために、技術と知識を駆使してお客様のニーズに合わせた装置、設備をトータルでコーディネートいたします。
まずはお客様のご要望、設備仕様などをしっかりとお伺いし、内容に適した乾燥方式のご提案をさせていただきます。標準製品のカスタマイズなども可能です。ご相談、お見積りはお気軽にご連絡ください。
数多くの乾燥炉製作実績
弊社は、液晶テレビやスマートフォンのディスプレイなど、時代に合わせてさまざまな用途に使用する乾燥炉を設計・製作してきました。ガラス基板や各種パネルなど乾燥させる素材や処理量など条件に適した乾燥方式が必要とされ、用途や乾燥方式ごとにノウハウがあります。弊社では長年培った経験と実績を活かして、お客様の使い勝手を考慮した提案を行い、構想設計からアフターメンテナンスまで一貫体制で行っています。小型から大型装置（～G10サイズ）まで幅広く対応しています。
■弊社が手がける生産装置
- FPD（フラットパネルディスプレイ）、半導体製造用加熱装置、真空乾燥装置
- マスクガラスの加熱装置、真空乾燥装置
- 電気部品の乾燥硬化炉
- 真空ホットプレート
- 各種生産装置へ取り付けるヒーター
- 既設装置の改造
引合い～納品までの流れ
弊社ではお客様と二人三脚の体制にて、装置の設計から納品まで行っています。
- お客様 お問合せ・案件の引合い
- 弊社 案件の検討
- 弊社 必要な場合はお客様のサンプルを試験乾燥
- 弊社 製作可能であれば概算見積、仕様のご提案
- お客様 弊社 仕様など詳細打合せ
- 弊社 詳細見積、見積仕様書提出
- お客様 弊社 修正打合せ
- 弊社 最終見積、確定仕様書提出
- お客様 御発注
- 弊社 製作図作成（部品図・組立図）
- 弊社 製作
- 弊社 試運転調整
- お客様 立会い確認
- 弊社 工場出荷
- 弊社 納入（お客様ご指定場所）
- 弊社 据付・現地立上げ（お客様の希望があれば）
製品一覧
■真空・真空熱処理装置
対象ワークを真空中で処理する装置です。
- 常温だけでなく熱処理も可能
- 上下昇降温プレート設置
- サイドシャッタ方式により多段検討が可能
- 大型基板サイズ対応可能
真空熱処理装置(HVCD)
温冷水式プレート
真空処理装置(DCD)
真空用ホットプレート
■ウェハー用加熱検証装置
半導体ウェハーの加熱・真空処理の検証装置などの提案
- プレート表面はプロキシミティ方式によりガラス基板のダメージ軽減
- お客様の仕様に合わせた搬送・加熱・真空処理のカスタマイズ化
- 仕様に合わせた装置提案ができます
■コンベア式プロセス装置
作業者がワークをコンベア上に設置して、コンベア搬送を行い、加熱・UV処理を行います
- 低コスト インラインコンベア
- 弊社オリジナルのUNILINKヒータを使用した安定した温度処理
- 昇温エリア、コンベア速度を調整し要求の昇温時間を実現可能
- 加熱処理・UV処理・冷却処理を組み合わせた複合処理のご提案
搬送付UVオープン
UNILINK搭載 コンベアオーブン
CPコンベア
UVコンベア
■特型装置
特殊ワークや複数の工程をまとめた装置をカスタマイズしたご提案ができます
- ワーク押え機構付きベーク装置
- 複合型処理装置
- 欠陥検査カメラ付冷却装置
HP、VCD複合装置
抑え機構付装置
欠陥カメラ検査付冷却装置
昇降付HP・熱風・VCD複合装置
■真空熱処理装置
ガラス基板の表面を真空中で熱処理する装置です。
- 上下昇降温プレート設置
- サイドシャッタ方式により多段検討が可能
- 大型基板サイズ対応可能
■多段式硬化炉
ガラス基板の表面をIRヒーターにて昇温させる装置。
G8サイズまで実績があります。
- 弊社特許のUNILINKヒーターを使用可能
- 昇降機構が無い為、各段のピッチを小さくできる。
- 炉内温度安定の為に各段にシャッター設置
UNILINK HEATER
■R&D 装置
各種実験、開発用途に対応可能な装置の提案。
お客様の仕様を確認して検証を行うための簡易装置を提案します
- 卓上型HP
- 実験用プリベーク
- スタンドアローンVCD
- 実験用IRコンベア
実験用IRコンベア
スタンドアロンVCD
スタンドアロン昇降付HP
卓上型HP
設備
工場環境
■本社工場クリーンルーム
本社第一工場のクリーンルームでは、エンジニア・スタッフたちが装置の組立・検証を行っています。
＜設備＞
- 天井クレーン 2.8t
- ヘリウムリークディテクタ ASM-142(PFEIFFER)
- 静電容量測定器 SK-035/200(KEYENCE)
- 温度測定用データロガー NR-1000(KEYENCE)
- サーモカメラ R500P-NNU（AVIO）
- 気流可視化装置 AVC-502A(日本エアーテック)
